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        設備名稱:藍寶石硅片貼片前超聲波清洗機

        設備型號:FWA-30120TES
        清洗對象:藍寶石硅片
        使用廠家:福建晶安光電

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        詳細參數 Parameter

        3.1進料→超聲波清洗→超聲波清洗→超聲波清洗→超聲波漂洗→出料

        3.2 清洗目的:去除工件加工過程中殘留的油污及粉屑

        3.3清洗介質:水+脫脂劑

        3.4清洗對象:晶圓

        3.5 設備流向:從右至左,進出料口設在設備正面,采用垂直進出料方式。

        4.  工作節拍:

        4.1以專用提籃為片盒載具入槽進行處理,每槽同時處理一個專用提籃,提籃規格為560×465×200nn,采用8mm不銹鋼元棒焊接制作,,每個2吋提籃可裝載2吋晶片21盒(525片)、每個4吋提籃可裝載4吋晶片12盒(300片)。每個片盒放置25個晶片

        4.2專用提籃入槽、出槽及槽位間傳遞均由智能機械臂自動操作完成。機臺的上下料由人工完成。

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