設備型號:FWA-320EB 清洗對象:晶圓環、晶片盒、晶片框、托盤 使用廠家:記憶科技
清洗產品:
產品類型1,晶圓環,200只,每筐20圈,4.5小時
Product Type 2 – Wafer Cassette - < 2 per day, 2 cassettes per basket, 1.5 hours.